从企业特点看，不同主体形成差异化优势。佳鼎半导体以"全谱系技术能力"为核心，是国内唯一完成 ArF、KrF 等全系列光刻机工程案例的团队，可实现光学系统翻新、工件台改造等深度维修。
东方嘉盛侧重"模式创新"，依托国内首个光刻机保税维修仓，通过数字化供应链平台压缩备件交付周期，主打高效响应与成本控制。
上海图双精密聚焦"设备改造与自研"，既研发出1μm对准精度的掩模对准曝光机，又能为老旧设备提供光学系统优化、跨衬底适配改造，还拥有套刻精度验证相关专利。
北京亚科晨旭则以"检测设备集成"为特色，通过转化Quadra™ X 射线检测、EVG 计量系统等国际设备，适配SiC检测、先进封装量测需求，同时提供全生命周期运维服务，覆盖多领域场景。
这些企业的技术突破直接缓解了国内晶圆厂的燃眉之急。东方嘉盛曾在2024年的采访中回应，公司已与国际头部芯片半导体厂商合作，公司寄售维修保税仓使用率已处于高位水平。
国产技术需要跨越信任壁垒
尽管近年来国产光刻机产业取得显著进展，但在技术攻坚、产能建设、生态完善等方面仍面临诸多挑战，产业界对此保持着清醒认知。
荷兰 ASML 在全球光刻机领域的垄断地位，本质是"技术壁垒+生态绑定+地缘妥协" 的三重叠加。
