维修破局：自主服务体系的崛起与实践
ASML实施"维修封锁"后，光刻机配件及常规保养需逐案审批，国内晶圆厂面临设"备停摆即产能流失"的困境。
在此背景下，一批具备自主技术能力的维修企业迅速崛起，通过技术攻关与模式创新，逐步破解"只卖不修"的行业困局，形成了覆盖设备翻新、故障维修、备件供应的全链条服务体系。
国内目前已形成以佳鼎半导体、东方嘉盛、上海图双精密等企业为核心的自主维修力量，其技术能力已通过实际工程案例验证，可不依赖荷兰技术与配件完成主流光刻机的维修维护。
反做空一线对几家重点自助维修的企业进行了简单整理，如下表所示：
从上述表格可见，当前国内光刻机自主维修企业已形成多元化服务体系，成为破解 ASML "维修封锁"、保障国内晶圆厂产能稳定的关键力量。
这类企业依托技术攻关与模式创新，覆盖从成熟制程设备翻新到核心备件替代的全链条需求，既填补了进口维修服务的缺口，也推动了半导体设备维护的国产化进程，为国内半导体产业自主化提供重要支撑。
