清代地方各级官员的养廉银数,最早定于雍正年间，后来乾隆时又有补充调整，现据光绪《清会典事例》所载，将总督、巡抚至州县官的养廉银数抄列如下：
总督：13000到20000 两，巡抚 10000到15000两，布政使 5000到9000两，按察使3000到8444两，道员1500到6000两，知府800到4000两，知州500到2000两，知县400到2000两。还有像河道总督6000两（其中北河总督系直隶总督兼领，支银1000两)，管河道员2000到4000两，漕运总督9520两，盐运使2000到5000 两，盐法道2000到4240两（兼任加领不列）。
除各衙门正印官外，所有佐贰官也都有养廉银。雍正七年（1729年），署福建总督史贻直等奏请，"闽省内地佐贰杂职微员共计二百一员，每员每年议给银二十两"，与正印官相比，实在太寒酸了，所以后来又有所提高，但一般也就是数十两至数百两不等，但同知一职，亦有达到千两以上的。
自地方官推行养廉银制后，京官的薄俸问题更显得突出了。雍正六年（1728年)，清廷首先决定发给双俸，即前面说的"恩俸"。后来又在各省解部银两和户部三库盈余银中，拨出一定的数额，以为养廉之用。份额最大的户部，得92300两，其它像吏部得10000两，礼部5000两，理藩院2000两、都远少于户部。
这些银子，再在各官员中进行分配。以户部的92300两银子为例，分给尚书、侍郎等堂官17200两，司员、笔帖式14980余两，再余下分别发给各司库郎中、员外郎、主事、大使、库使和笔帖式等。
