第三次北伐的失败，使桓温的威信和声望大受打击，再加上他自感时日无多，便加快了篡权的步伐。公元371年，桓温率领着重兵进入朝堂，逼迫着褚太后废黜司马奕的皇帝之位，转而将司马昱扶上皇位。
这是东晋历史上从未有过的废立之事，桓温将朝中的反对势力全部铲除，为自己继位铺好了道路。可别看司马昱是被他扶上去的，却同样不肯将司马氏的皇位让出来。
司马昱弥留之际，留下遗诏让桓温摄政，但侍中王坦之认为如此不妥，便将"摄政"改为了"辅政"，这个结果让桓温大失所望。他不甘心，再次带兵入朝，上书逼迫朝廷赐予他九锡之礼。
他在等朝廷把流程全部走完，再名正言顺地自立为帝。可由于谢安等人的故意拖延，桓温最终没有等到这一刻，带着无尽的遗憾离开了人世，享年62年。
桓温对东晋中兴起到了非常重要的作用，他主持的"庚戌土断"，打击豪门势力，加强了东晋的实力，使这个小王朝得以续命很长一段时间。
