殷峤在隋朝时就已出仕，担任太谷县长。殷峤在担任太谷县长期间，很有政绩，因此获得好名声。后来李渊在晋阳起兵，自称大将军时任石艾县长的殷峤被李渊任命为大将军府掾，成为辅佐李氏父子的一名干将，参预谋略，当作心腹，因多次历有军功被拜任为光禄大夫。
617年，李渊任命刘弘基为渭北道大使，以殷峤为副手。西进略地扶风，率兵六万南渡渭水，屯驻于长安故城，隋将卫孝节从金光门出战，殷峤与刘弘基将其击败，擒获甲士千余人，战马数百匹。唐军攻克长安后，殷峤被赐封爵位为陈郡公，升任丞相府掾。不久改任吏部侍郎。
先后随军攻下了霍邑，但在高墌之战中，惨败给了薛举，唐军八总管皆败，唐军士卒死者过半，李世民慌忙引兵退还长安。薛举遂占领高墌城。仗打输了总要追究责任，于是刘文静和殷峤都被免职，除名为民。
