台媒炒“富士康引进大陆产光刻机”(4)

2021-12-05 17:00     观察者网

光刻机行业发展趋势 方正证券2020年6月研报截图

方正证券提到,实现光刻机的进口替代并不是某一企业能够单独完成的,需要光刻产业链的顶尖企业相互配合。光刻产业链可拆分为两个部分,一是光刻机核心组件,包括光源、物镜、双工作台、浸没系统等关键子系统,二是光刻配套设施,包括光刻胶、光掩模版、涂胶显影设备等。

市场调研机构CINNO Research分析师向观察者网指出,目前了解到的信息是,国产光刻机研发难点中对进度影响最大的部分是光源和物镜,分别来自北京的科益虹源和国望光学。其中又以物镜为最难,与德、日还有多年技术经验积累差距,短时间内赶上相当不易。此外,为提高子系统和零部件自主化程度,反制美方“卡脖子”,整个系统还需要更多时间来完善。

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