最先进光刻机High-NA EUV公开 仅五台出货!造价4亿美元

2025-05-28 14:07  头条

荷兰半导体设备大厂阿斯麦(ASML)耗时近十年打造的新一代高数值孔径极紫外光光刻机(High-NA EUV)近日亮相

荷兰半导体设备大厂阿斯麦(ASML,又称艾司摩尔)耗时近十年打造的新一代高数值孔径极紫外光光刻机(High-NA EUV)近日亮相。 这台全球最先进、造价超过4亿美元的芯片制造设备,比双层巴士还要大。

据CNBC财经网站报道,这台机器设备由四个模块组成,分别在美国康州、加州、德国和荷兰制造,然后在荷兰费尔德霍芬的实验室组装、测试,然后再次拆卸运出。 ASML负责人表示,需要七架波音747飞机,或至少25辆卡车,才能将一整套系统送到客户手中。

到目前为止,全世界只有五台High-NA EUV正式售出。

芯片尺寸缩小、生产速度加快

High-NA是ASML极紫外光(EUV)设备的新一代版本,其中「NA」代表「数值孔径」,意味着其镜头开口更大,能捕捉更多光线,以更高分辨率描绘芯片电路。