诸葛亮还是不放心，让高翔带领人马驻守在临渭以北、街亭以左的柳城城接应马谡。张郃果然率军来取街亭，马谡不遵循诸葛亮的部署，也不顾王平的劝阻，将大军屯于孤山上，马谡的大军被张郃包围在山上。
街亭失守以后，诸葛亮的军队丧失了有利地形，第一次北伐就此失败。马谡虽然是诸葛亮的人，但是为了严肃法度，便斩杀了马谡、张休、李盛。第一次北伐蜀国失去了11位英雄。
诸葛亮的《后出师表》记载："中间期年耳，然丧赵云、阳群、马玉、阎芝、丁立、白寿、刘郃、邓铜等及曲长、屯将七十余人，突将、无前、蜜叟、青羌、散骑、武骑一千余人"。"若不是诸葛亮冒进，蜀国也不会损失那么多的将领。
