2月11日晚间，针对“阿斯麦称东方晶源可能侵权”一事，东方晶源发布官方声明称，近期网络媒体上出现大量与该公司有关且与事实不符的报道，对于相关不实信息，东方晶源将保留追究其法律责任的权利。声明同时称，东方晶源自成立以来一直遵守中国法律法规、合法合规经营。秉承独立研发、自主创新的理念，东方晶源尊重、保护知识产权，并形成了独立、完备的知识产权体系。
东方晶源声明截图
观察者网稍早前曾报道，2月9日，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）在2021年财报中宣称，东方晶源正在中国积极销售可能侵犯阿斯麦知识产权的产品。阿斯麦同时还称，东方晶源与一家已经破产的美国公司XTAL存在关联，2019年美国法院曾判定XTAL侵犯阿斯麦知识产权。
需要指出的是，东方晶源研发的技术并不用于制造光刻机，该公司专注于集成电路制造过程中的良率管理。据东方晶源披露，该公司已成功自主研发出计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，获得行业和客户的认可。
东方晶源官网截图
而阿斯麦的产品除了光刻机之外，也包括用于提高芯片良率和质量的计算光刻，这是一种晶圆厂需要购买的服务。但这块业务并不是阿斯麦的核心技术，2019年在其营收中占比不到1%。
关于计算光刻，阿斯麦曾在数年前与XTAL打过一场官司。2016年5月，阿斯麦向美国法院指控XTAL盗取阿斯麦美国子公司Brion的某些源代码和知识产权，并且称XTAL诱导和教唆阿斯麦员工在离职前秘密为其工作。 经过数年审理，美国法院2019年最终支持了阿斯麦的诉求，判定XTAL赔偿阿斯麦8.45亿美元。
