目前,台积电等生产7nm-5nm制程的芯片采用的都是0.33 NA EUV光刻机,而第一代0.55 NA光刻机TWINSCAN EXE:5000还在研发过程中,预计2023年上市。早在2018年,英特尔就率先向阿斯麦下单第一代0.55 NA EUV光刻机,该公司也有望成为首个高数值孔径EUV光刻机的使用者,并将其用于3nm及以下制程。
在本次披露财报时,阿斯麦透露,该公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE:5000光刻机订单,累计订单达到5份。与此同时,该公司还在2022年初收到下一代高数值孔径EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200的首份订单,下单的还是英特尔。从路线图来看,TWINSCAN EXE:5200预计最快2024年底投入使用,2025年开始大规模应用于2nm甚至以下先进制程的生产。国外有分析师直言,“我敢打赌,英特尔为这一权利花了很多钱,因为他肯定不是唯一想先得到这种机器的公司。”
图源:阿斯麦
展望新一年的业绩,阿斯麦预计其2022年一季度销售收入约为33亿-35亿欧元,环比下滑30%-34%。温彼得对此解释称,由于大量的快速出货,约有20亿欧元的预期收入将从第一季度转移到后续季度,这也是该公司一季度预期销售额较低的原因。纵观全年,即使考虑到目前6个EUV系统的快速出货相关收入将转移至2023年,该公司2022年的营收增长仍将达20%左右。
但这个说法遭到中国台湾半导体分析师陆行之的质疑。他提到,2021年四季度,阿斯麦存储器芯片用光刻机营收占比环比下滑12个百分点,同期确认收入的EUV也低于原预期,或许是韩国三星、海力士因为DRAM(动态随机存储器)合约价格下滑,要求延迟付EUV的款项给阿斯麦。因为既然是快速出货,理论上应该也是快速或准时付款,但现在阿斯麦来个快速出货,但延迟付款,怎么解释都显得很奇怪。
台媒报道截图
在发布本次财报前,阿斯麦柏林工厂曾发生火灾。TrendForce集邦咨询向观察者网提供的一份报告显示,阿斯麦德国柏林工厂火灾对晶圆代工及存储器而言,将可能对EUV光刻机设备制造产生较大影响。而根据该机构掌握的信息,阿斯麦所需的零部件亦不排除通过其他厂区取得,加上目前EUV设备交期相当长,因此实际对EUV供应的影响仍有待观察。而阿斯麦方面也预计柏林火灾不会对其2022年的系统出货产生重大影响。
从2018年开始,阿斯麦就试图向中国大陆销售EUV光刻机,希望进一步进入中国大陆市场,但荷兰政府一直未批准其出口许可申请。在美国的持续施压之下,这一请求已被荷兰官员搁置。温宁克在财报发布当天表示,他担心进一步的出口限制。“我对任何政府采取的出口管制措施都感到担忧。我们严重缺乏成熟的半导体技术,我们需要成熟的制造能力。”
“出口管制将加快中国自主研发,15年时间里他们将做出所有的东西”、“中国完全自主掌控供应链之后,欧洲供应商将彻底失去市场”,其实温彼得去年4月就已经公开表达焦虑,但美国一直选择视而不见。