俺答汗之后,蒙古又陷入了混乱之中,大汗再次成为各部名义上的领袖。察哈尔部第四任可汗布延(1554年至1604年,1592年至1604年在位)甚至拿出了元朝的传国玺,以证明自己是蒙古的最高统治者,各部一笑了之并不在意。布延之孙林丹汗(1592年至1634年,1604年至1634年在位)继任大汗之后,矢志中兴蒙古,无奈遭遇满清的崛起,被满清击败后不得不西迁,最后死在了青海。1635年,林丹汗之子额哲与母亲苏泰太后奉传国玺降清,漠南蒙古各部向满清大汗皇太极上尊号"博格达彻辰汗",蒙古大汗之位至此由清朝皇帝兼任,蒙古帝国传承由此断绝,实质上灭亡了。
此后,清朝又先后征服漠北蒙古、漠西蒙古,在漠南蒙古设置察哈尔都统、热河都统、绥远城将军,在漠北蒙古设置乌里雅苏台将军、库伦办事大臣、科布多参赞大臣、阿尔泰办事大臣,在漠西蒙古设置伊犁将军、西宁办事大臣,管辖蒙古各部。